Synthesis and characterization of TiN / Ti / AISI 410 coatings
Palabras clave:
TiN, Plasma, SEM, XRD, XPSResumen
La síntesis y caracterización de películas delgadas de Ti y TiN de diferentes espesores se llevó a cabo sobre un sustrato de acero inoxidable martensítico AISI 410 utilizado para la fabricación de herramientas. Se midió los parámetros mecánicos entre las superficies interactuantes tales como espesor, adherencia y dureza. Mediante el microscopio electrónico de barrido (SEM) se observó la morfología superficial de la interfase Ti/TiN, encontrando que el crecimiento fue de granos columnares y mediante EDAX se comprobó la existencia de titanio. Utilizando difracción de rayos X (XRD) se pudo observar la presencia de tensiones residuales (~ -3.1 GPa) debido a las diferentes fases cristalinas en el recubrimiento. Bajo espectroscopía de foto emisión de rayos X (XPS) se consiguió observar la composición química molecular de la superficie del recubrimiento, siendo compuestos de Ti-N, Ti-N-O y Ti-O los predominantes.
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Citas
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